ELEMENT 3-5 GmbH

2010 wurde in Baesweiler bei Aachen das Unternehmen AIXaTECH als Spin-off der RWTH Aachen gegründet. Die Gründer entwickelten einen Versuchsreaktor und die zugehörige Prozesstechnik, mit der sich Halbleiter auch bei wesentlich niedrigeren Temperaturen herstellen lassen. 2015 stieß Dr. Volker Sinhoff als Investor zu AIXaTECH. „Ich war von der Technologie beeindruckt und spürte, dass sie eines Tages disruptiv und der Markt dafür riesig sein könnte“, erzählt Sinhoff, der inzwischen Geschäftsführer des Unternehmens ist, das seit 2022 ELEMENT 3-5 heißt und eine GmbH ist. Sinhoff und sein Team legten sich ins Zeug und entwickelten die Technologie bis zur Marktreife. 2022 startete die Serienproduktion. Der innovative Reaktor ist in der Halbleiter-Industrie begehrt, denn er bietet bei der Herstellung der Basisschicht für Halbleiter gleich mehrere Vorteile: „Man spart enorm Energie, hat einen bis zu zehn Mal höheren Durchsatz und kann Halbleiter zudem deutlich homogener herstellen als mit den herkömmlichen Verfahren“, zählt Sinhoff die Pluspunkte auf. Möglich macht das ein bei ELEMENT 3-5 entwickeltes und weltweit patentiertes Verfahren auf Basis von intelligenten Plasma-Quellen, die bereits bei 200-300 Grad das tun, wozu andernfalls vierstellige Temperaturen erforderlich sind. Die Reaktoren für die Basisschicht sind aber nur ein Geschäftszweig. ELEMENT 3-5 nutzt seine Technologie in erweiterter Form zudem, um selbst Hochleistungshalbleiter herzustellen und zu verkaufen, die beispielsweise in Micro-LED-Displays zum Einsatz kommen. Dank des innovativen Herstellungsprozesses könnten entsprechende Bildschirme schon bald weniger als 10.000 Euro kosten – derzeit sind es laut Sinhoff noch zehn bis 15 Mal so viel. Auch bei KI-Chips könnten die Halbleiter aus Baesweiler eine wichtige Rolle spielen.