Präzision für die Stromkreise von morgen
Ohne Halbleiterindustrie wären heute viele Anwendungen nicht denkbar. Das Unternehmen AIXTRON aus Herzogenrath mischt in diesem Zukunftsmarkt mit. Seine Anlagen werden für die Herstellung mikroelektronischer Bauteile, die für schnellere Ladezeiten und geringeren Stromverbrauch sorgen, genutzt.
Ob E-Fahrzeuge oder Wind- und PV-Anlagen, Schnellladesäulen oder Motor-Antrieb: Stets kommt es auf hohe Leistung bei möglichst geringem Stromverbrauch an. Also auf möglichst geringe Wandlungsverluste. Damit Daten schneller und effizienter übertragen werden, sich die Ladezeiten für E-Fahrzeuge reduzieren oder die Stromversorgung für Unterhaltungselektronik effizienter wird, braucht es hochkomplexe mikroelektronische Bauteile. Auch zur optischen Datenübertragung oder für die 3D-Sensorik werden Bauelemente aus sogenannten Verbindungshalbleitern verwendet. Ein wichtiger Fertigungsschritt bei der Herstellung dieser Halbleiterbauelemente besteht im hochpräzisen Auftragen von speziellen Beschichtungen. Dafür entwickelt und vertreibt das Unternehmen AIXTRON mit Sitz in Herzogenrath bei Aachen die entsprechenden Anlagen.
“Unser Know-how besteht unter anderem darin, diese extrem dünne, wenige Nanometer dicke Schicht absolut gleichmäßig aufzutragen”
Das Unternehmen aus NRW entwickelte eine Technologie, mit der sich sogenannte Wafer beschichten lassen. Wafer sind kreisrunde, etwa bis zu einem Millimeter dicke Scheiben, die als Grundplatten oder Substrat für mikroelektronische oder optische Bauelemente dienen. Aus einem Wafer können mehrere tausend Transistoren gefertigt werden. Entscheidend ist dabei der dünne Materialbelag beispielsweise aus Siliziumkarbid oder Galliumnitrid, mit dem die Wafer beschichtet werden. „Unser Know-how besteht unter anderem darin, diese extrem dünne, wenige Nanometer dicke Schicht absolut gleichmäßig aufzutragen“, erklärt Dr. Felix Grawert, CEO von AIXTRON. Je perfekter die hauchdünne Schicht, desto besser ist das Bauelement. Damit lassen sich laut AIXTRON zum Beispiel Ladezeiten um den Faktor drei reduzieren, der Energieverlust bei der Stromumwandlung um bis zu 40 Prozent. Nach Firmenangaben umfasste der gesamte Markt für Leistungselektronik im Jahr 2023 rund 22 Milliarden Euro. Lediglich 1,5 Prozent davon erzielen Bauelemente mit Galliumnitrid-Beschichtung. In diesem Segment gilt AIXTRON nach eigenen Angaben als Marktführer bei den Beschichtungsanlagen. Bei Bauelementen mit Siliziumkarbid, die immerhin 12,5 Prozent des Gesamtmarktes ausmachen, liege der Marktanteil von AIXTRON bei den Anlagen bei rund 40 Prozent.
An seinem Stammsitz in Herzogenrath beschäftigt AIXTRON rund 800 Mitarbeitende. Zusammen mit den weiteren Produktionsstandorten in Großbritannien und Italien sowie den weltweiten Servicebüros sind es über 1.200 Beschäftigte. Über ein Drittel aller Beschäftigten sind in der Forschung und Entwicklung aktiv. „Nordrhein-Westfalen ist für uns als Standort extrem wichtig“, betont Grawert. Man schätze in NRW die große Nähe zu erstklassigen Forschungseinrichtungen. So unterhält AIXTRON sehr enge Verbindungen mit der RWTH Aachen und auch zahlreiche Forschungskooperationen mit dem Forschungszentrum Jülich. Ein besonderes Bekenntnis zum Standort und gleichzeitig Symbol für die Bedeutung von Forschung und Entwicklung: Im Dezember 2024 eröffnete AIXTRON an seinem Heimatstandort ein neues Innovationszentrum mit 1.000 Quadratmeter Reinraumfläche. Das Unternehmen investierte 100 Millionen Euro. Prominenter Gast bei der Eröffnung war NRW-Wirtschaftsministerin Mona Neubaur. „Das neue Innovationszentrum von AIXTRON ist ein beeindruckendes Beispiel für die Innovationskraft und Zukunftsfähigkeit der Halbleiterindustrie in Nordrhein-Westfalen“, sagte die Ministerin. Der Start der 300-Millimeter-Wafer-Technologie sei ein Meilenstein für die Energieeffizienz und Wettbewerbsfähigkeit der Region. „Unsere globale Wettbewerbsfähigkeit profitiert enorm von einer robusten heimischen Halbleiterproduktion, denn Halbleiter machen die Transformation hin zur Klimaneutralität erst möglich“, führte sie aus, „ohne sie läuft kein Computer, fährt kein Auto, können weder Wind- noch Solaranlagen Energie produzieren.“
Diese Erfolgsgeschichte einer innovativen Transformation wurde im Februar 2025 veröffentlicht. Es finden im Anschluss keine Aktualisierungen bzw. Prüfungen der Angaben statt.
Die Publikationsreihe „Transformation durch Innovation“ soll veranschaulichen, wie Unternehmen in NRW, dank der durch das Land NRW geschaffenen Rahmenbedingungen, erfolgreiche Innovationsgeschichten schreiben konnten.
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